清华大学等离子体刻蚀机采购项目公开招标，预算165万元

，3 月 29 日，清华大学发布了等离子体刻蚀机采购项目公开招标公告。

该公告显示，清华大学现对等离子体刻蚀机采购项目进行国内公开招标，欲采购 1 套等离子体刻蚀机，采购预算为 165 万元。

设备用途介绍 :

该等离子体刻蚀机用于刻蚀薄膜铌酸锂晶圆，从而加工基于薄膜铌酸锂晶圆的电光器件。

简要技术指标 :

真空系统:分子泵抽速≥1300L / s，干泵抽速≥100m3 / h，

下电极:满足 8 英寸样品刻蚀需要，更小样品或碎片可贴片装载，

软件和控制系统:自主版权的软件，Windows 操作系统软件，

机台工艺能力:主要用于刻蚀薄膜铌酸锂材料，介质材料等。中国科大与中科院数学与系统科学研究院合作，基于上世纪80年代由我国数学家冯康提出的保辛结构算法理论，发展了一套针对等离子体带电粒子-电磁场系统具有长期守恒性质的显式高阶非正则辛Particle-in-Cell格式；自主设计了SymPIC等离子体带电粒子-电磁场系统的大规模保结构动理学数值模拟软件；通过在算法，软件栈和自动向量化等方面进行一系列关键技术创新，在新一代神威超级计算机首次对EAST和CFETR全装置等离子体演化实现了最大规模的长时间高保真模拟，已用于计算波在等离子体中的传播，电流驱动，随机加热等现象并获得了比传统算法更加可靠的非线性长期结果。。

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